E+E時柵傳感器環節誤差分析及檢驗標準的建立
時柵位移傳感器是一項原始性創新成果,研究時柵位移傳感器是一項開創性的工作,具有深遠的意義。與光柵等傳統柵式位移傳感器相比,時柵位移傳感器除了原理與傳統柵式位移傳感器不一樣以外,它還因工藝簡單、成本低、分辨力高、抗干擾力強、智能化程度高等顯著優勢,具有很好的市場前景。

E+E時柵傳感器環節誤差分析及檢驗標準的建立
在時柵從實驗室研究成果到市場化的產品推廣應用中還存在的一些不可避免的實際問題,一方面是面對小批量、多品種需求而進行的大量實驗驗證導致的人力財力的消耗,另一方面是在草擬《E+E時柵傳感器》《時柵數顯回轉工作臺》產品標準時遇到的對產品的一些性能指標因E+E時柵傳感器與其他傳感器不一樣的原理而無法準確確定問題。在此背景下,本文作者在一項自然基金的資助下,開展了《時柵位移傳感器環節誤差分析和檢驗標準的建立》的研究。主要研究內容如下:介紹了“時空坐標轉換”思想和基于此思想而發明的時柵位移傳感器的結構及組成原理。重點分析了時柵位移傳感器各誤差項,并對各主要誤差項對時柵位移傳感器精度的作用原理和影響量作出了具體論述和定量分析。根據誤差分析結果做了如下工作:設計了時柵多測頭誤差分離的實驗方法和誤差驗證方法,搭建了實驗裝置,并對實驗驗證結果進行了分析,驗證了誤差估計的基本正確性。設計了電源幅值和相位差變化對時柵精度影響的實驗方法并在搭建好的實驗裝置下進行了實驗研究,并以實驗結果對電源幅值和相位差變化對時柵精度的影響量做出了定量分析。根據時柵特點,確定了時柵位移傳感器的主要性能指標分辨力、重復性、分度誤差的檢驗方法和數據處理方法,并確定了對時柵位移傳感器的示值誤差(分度誤差)進行不確定度評定的方法。通過對時柵位移傳感器的誤差分析,明確了影響時柵位移傳感器精度的主要因素和時柵位移傳感器誤差的特點,并提出了影響時柵精度zui主要的誤差項——定子和測頭的制造新方法。

E+E時柵傳感器環節誤差分析及檢驗標準的建立
綜上所述,在分析時柵位移傳感器各誤差項的基礎上,確定了時柵的主要性能指標和對各指標進行檢驗的方法,并把它應用于《E+E時柵傳感器》和《時柵數顯回轉工作臺》的產品標準中。