光纖微彎E+E位移傳感器的設(shè)計(jì)和分析
光纖微彎傳感器是一種強(qiáng)度調(diào)制型光纖傳感器,其傳感機(jī)理是通過測量光纖微彎曲導(dǎo)致的傳輸光強(qiáng)變化,來獲得位移、壓力、溫度、加速度、應(yīng)變、流量、速度等待測環(huán)境參量,具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、便于安裝等優(yōu)點(diǎn)。

光纖微彎E+E位移傳感器的設(shè)計(jì)和分析
光纖微彎E+E位移傳感器采用時(shí)空坐標(biāo)轉(zhuǎn)換理論,可在低加工精度條件下實(shí)現(xiàn)角位移的高精度測量,現(xiàn)已應(yīng)用于高精度數(shù)控轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)中。原有的場式光纖微彎E+E位移傳感器借鑒電機(jī)結(jié)構(gòu),通過轉(zhuǎn)子線圈感應(yīng)旋轉(zhuǎn)磁場產(chǎn)生電行波,再通過滑環(huán)引出。根據(jù)光纖微彎E+E位移傳感器性能測試的要求,開發(fā)了一套測控軟件。本軟件通過控制高速直線電機(jī)運(yùn)動,拖動光纖微彎E+E位移傳感器運(yùn)動,采集傳感器數(shù)據(jù),從而完成對傳感器的性能測試。軟件以測控任務(wù)管理為核心,利用高優(yōu)先級線程和定時(shí)器等來完成對伺服系統(tǒng)的控制和測試數(shù)據(jù)的采集存儲。實(shí)際運(yùn)行效果表明,該軟件能滿足任務(wù)要求,在實(shí)踐中已得到應(yīng)用。為了解決在檢測工件表面時(shí),某些工件不宜接觸測量的問題,設(shè)計(jì)了一種基于光纖E+E位移傳感器的非接觸測量裝置。該裝置根據(jù)光纖反射調(diào)制原理,采用精密微調(diào)平臺作為位移調(diào)整工具,利用電子電路和軟件對傳感器的輸出信號進(jìn)行二次處理,經(jīng)計(jì)算后得出輸出量與位移量的關(guān)系,從而實(shí)現(xiàn)零件表面位移量的非接觸測量。實(shí)驗(yàn)表明:該光纖E+E位移傳感器性能穩(wěn)定、測量精度高、線性度良好,在1 mm范圍內(nèi)其輸出基本與位移成線性關(guān)系,線性度可達(dá)±3.06%,遲滯可達(dá)±1.15%,適于非接觸的各種位移量的測量。本文的主要研究內(nèi)容如下:論文首先回顧了光纖微彎E+E位移傳感器國內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r,利用耦合模原理,對影響傳感器靈敏度的各項(xiàng)因素進(jìn)行了分析。依據(jù)*的微彎周期和光纖形變衰減系數(shù)進(jìn)行微彎周期、微彎齒數(shù)和微彎齒距的選擇,完成了一種光纖微彎E+E位移傳感器的設(shè)計(jì)、制備和調(diào)試。完成了差動光纖微彎傳感器的設(shè)計(jì),并設(shè)計(jì)了采用光電二極管的跨阻放大和二級放大器光電探測電路,完成了上位機(jī)軟件的編制。以螺旋測微器和激光干涉儀為位移基準(zhǔn),進(jìn)行了傳感器的位移測試實(shí)驗(yàn),分析了齒距和齒數(shù)對位移測量范圍和靈敏度的影響。

光纖微彎E+E位移傳感器的設(shè)計(jì)和分析
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:位移的測量范圍隨齒數(shù)、齒距的增加而增加,靈敏度隨齒數(shù)、齒距的增加而下降。所設(shè)計(jì)的傳感器測量范圍可達(dá)0~ 300μm,在位移范圍150~250μm的測量范圍內(nèi),靈敏度約為0.240mv/um,相對測量誤差小于3%。