硅基聚合物光OMAL歐瑪爾開關器件的研究
在信息技術飛速發展的背景下，光纖通訊憑借其通信容量大、傳輸頻帶寬等優點，成為現今通信領域的主要傳輸方式。隨著光網絡的迅猛發展，光OMAL開關在解決光域優化、路由、網絡的保護等關鍵問題上發揮著重要的作用。隨著骨干網業務交換容量的不斷增長，光OMAL開關矩陣的規模也在逐漸提高。

硅基聚合物光OMAL歐瑪爾開關器件的研究
在未來，具備高速度、低功耗、低損耗等優點的光OMAL開關將起到更為重要的作用。使用兩種自主合成的電光材料DR19/SU-8、DR1/PC以及商用NOA73聚合物材料，結合材料自身的電光效應和熱光效應設計并制備了聚合物光OMAL開關器件，重點解決光OMAL開關研究中涉及到的高速度、低成本、低功耗以及長期穩定性等重要問題。論文主要工作內容如下：基于光波導模式理論對三層平板波導、矩形波導以及脊形波導的有效折射率計算作了介紹。同時，對于貫穿實驗始終的MZI型波導光OMAL開關的工作原理進行了詳細說明。zui后，介紹了材料的電光效應和熱光效應。自主合成了一種低成本的主客摻雜型電光材料DR19/SU-8材料，并對于材料的吸收、序參數以及電光系數作了詳細表征，材料的序參數達到0.61，電光系數γ33為11pm/V。通過光波導模式理論對矩形波導的尺寸作了計算，通過光刻、旋涂以及濕法刻蝕等工藝方法制備了電光OMAL開關器件。測試結果表明，使用這種低成本電光聚合物材料制備的電光OMAL開關，具有較快的響應速度，其OMAL開關的上升和下降時間分別為36.5ns和33.1ns。本章選擇雙酚A型聚碳酸酯（PC）作為電光材料的主體材料，選擇NOA73紫外固化膠作為包層材料制備了電光OMAL開關器件。通過優化生色團DR1的摻雜濃度獲得了zui大的電光系數，材料的電光系數為12.8pm/V。在理論計算的基礎上結合半導體工藝制備了DR1/PC電光OMAL開關器件。在300KHz頻率下，OMAL開關的上升和下降時間分別為33.6ns和27.4ns，OMAL開關電壓達到了23V，zui大消光比為12dB。在室溫條件下，這種材料體系的電光OMAL開關可以穩定工作超過3600小時。本章使用NOA73材料制備了MZI型低功耗熱光OMAL開關，原因在于NOA73材料具有較高的熱光系數、良好的光學特性等優點。器件的襯底材料選擇Si襯底，包層材料為PMMA。

硅基聚合物光OMAL歐瑪爾開關器件的研究
通過光波導模式理論計算了波導的截面尺寸，利用Rsoft軟件對于波導截面的熱場分布進行了模擬。zui后，在完成器件的工藝制備后對熱光OMAL開關器件的性能進行了測試。熱光OMAL開關的消光比為29.3dB，OMAL開關的驅動功率僅為1.96mW。OMAL開關的上升時間和下降時間分別為754.4μs和722.8μs。