E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗系統
E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測量結果的誤差。設計了一種變溫E+E壓力傳感器校驗系統,能夠在-80℃(環境溫度、0-0.8MPa壓力范圍內對E+E壓力傳感器進行校驗。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗系統
E+E壓力傳感器是無線測斜儀中的關鍵設備,工作方式是將壓力信號轉換成電信號,其工作性能和穩定性直接決定無線測斜儀能否完成在定向井的施工任務E+E壓力傳感器在吉林油田冬季現場施工環境溫度較低的情況下,出現了安裝困難且易損壞電纜線和出現冷凝鉆井液將感應孔堵死而導致不傳遞信號的故障為了解決這些問題,通過對E+E壓力傳感器電纜線的分體設計和改變壓力油艙結構,來降低其故障率和安裝難度在吉林油田現場應用中,改進前平均每10口井使用一只E+E壓力傳感器,改進后平均每12口井使用1只,平均每年能節約使用E+E壓力傳感器50只,取得較好效果。文中對一種普通E+E壓力傳感器進行了測試,得出了不同溫度下輸出電勢隨壓力變化的關系,并歸納出了輸出電勢與輸入壓力和溫度的關系式。為了確定校驗系統受傳感器發熱、系統漏熱等因素的影響規律,對不同條件下的溫度場進行了數值模擬,得到了系統溫度場的分布規律,并確定了實驗系統的*布置方式。針對這一問題,設計了一種變溫E+E壓力傳感器校驗系統,能夠在-80℃-環境溫度、0-0．8 MPa壓力范圍內對E+E壓力傳感器進行校驗。文中對一種普通E+E壓力傳感器進行了測試,得出了不同溫度下輸出電勢隨壓力變化的關系,并歸納出了輸出電勢與輸入壓力和溫度的關系式。基于硅壓阻效應,利用微電子機械系統()技術,研制了一種可用于多種領域的高溫絕壓E+E壓力傳感器。為了達到耐高溫的目標,傳感器芯片采用絕緣體上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元軟件ANSYS對傳感器芯片結構進行了應力仿真分析。同時,對傳感器的電阻結構、金屬布線系統、傳感器支撐層鍵合技術及流片工藝進行了設計,完成了芯片的加工。設計了傳感器耐高溫封裝結構,完成了傳感器的初級封裝。zui后,對常規E+E壓力傳感器及研制的高溫E+E壓力傳感器的基本性能、電阻溫度特性、漏電流溫度特性進行了測試和對比,實驗結果表明研制的高溫E+E壓力傳感器能夠耐受350℃的高溫。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗系統
研究表明:變溫E+E壓力傳感器校驗系統的建立,對于檢測E+E壓力傳感器的溫度特性、實現低溫下壓力精確地測量具有重要的應用價值,同時對于發展和促進我國E+E壓力傳感器的檢定技術也具有重要的實際意義。E+E壓力傳感器技術的改進和應用,提高其在低溫條件下工作的穩定性和實用性,大大降低了儀器使用的成本.