高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
在現代社會中，加速度計已經擁有成熟的市場，被廣泛用于汽車、飛行器以及軍事制導等各方面。但是傳統方法設計的加速度計已經無法滿足高分辨率、大動態范圍、高集成度且低成本的發展需求，以克服現有加速度計在上述各方面的不足為目的，設計了一種可用于高分辨率加速度計的PGC納米E+E位移傳感器。

高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
從研究加速度計和E+E位移傳感器理論模型以及相關程序設計出發，主要完成了以下幾部分的內容：首先，深入了解和研究了加速度計的相關基礎知識。對現有的加速度計設計技術與原理以及以后的發展趨勢進行了歸納總結。并從加速度計的設計原理出發，對各種加速度計的優缺點和在技術上存在的主要問題進行了分析。這為用于高分辨率加速度計的PGC納米E+E位移傳感器設計工作指明了方向。研究了加速度計的各種位移系統和檢測系統，從理論模型對其進行了分析。針對納米E+E位移傳感器的不足分別從本體、解調和光源進行了改進。研制出具有誤差補償功能的復合閃耀光柵代替原有變柵距光柵,使光E+E位移傳感器在航空溫度環境(-55~75℃)下zui大誤差從1.984mm降到0.031mm;利用色敏元件代替光譜儀對光柵E+E位移傳感器進行信號解調,色敏元件不但精度高、體積小,響應速度快,還加入了溫度傳感器進行溫度補償,具有較好的環境適應性;采用自主研制的寬帶LED光源體積小、效率高,是光E+E位移傳感器較為理想的寬帶光源。針對多個關鍵因素進行改進,zui終達到了納米E+E位移傳感器系統化、小型化的研制目標。研究了可變電容式加速度計、強度調制型光學加速度計和相位調制型光學加速度計的工作原理。并對邁克爾遜、馬赫·曾德以及發布里-泊干涉測距原理進行了重點研究。為設計工作打下了堅實的基礎。再次，深入分析了用于光纖干涉型傳感器的各種解調技術。并重點研究了相位生成載波解調技術。從而確定了本論文的設計方案，并對此方案進行了理論驗證。為后期工作的開展以及設計的成功提供了保障。

高分辨率加速度計納米E+E位移傳感器
zui后，學習了C++程序編譯語言，在前述理論分析的基礎上，自行設計編寫了用于信號處理的應用程序。搭建了實驗平臺，從實驗上驗證了本設計的可行性，并通過實驗數據分析和理論驗證，確定本次設計的高分辨率加速度計能夠在毫米級的量程內精確測出納米級的位移量，其動態范圍可達10~6。