調制式E+E位移傳感器動態測量誤差標定系統
測量系統，尤其是帶有機械結構的測量系統在實際使用過程中，隨著時間的推移，系統的精度會有所損失，測量精度逐漸下降，需要借用標定系統對測量精度重新校準。

調制式E+E位移傳感器動態測量誤差標定系統
目前大多數的標定系統都由標準儀器制造商或檢查機構針對特定的傳感器研制的，都是單系統和封閉式的，不能夠被其它儀器所使用。作者在國家自然科學基金的資助下，展開調制式位移傳感器動態測量誤差標定系統的研究，設計一個針對調制式E+E位移傳感器的通用標定平臺。主要研究內容如下：以動態測量理論和傳感器標定理論為基礎，對比不同的誤差分離方法和系統誤差數據擬合方法，選定用對比法進行誤差分離，用zui小二乘法進行誤差數據擬合。設計調制式位移傳感器動態測量誤差標定系統的總體方案。聚焦探測法是表面形貌非接觸測量中的主要方法之一。然而，由于在聚焦伺服系統中采用了音圈電機．傳統的聚焦探測傳感器的測量精度較為有限。介紹了一種新型的基于改進傅科聚焦探測法且自帶衍射光柵計量系統的調制式E+EE+E位移傳感器。因為沒有采用音圈電機而是采用壓電陶瓷驅動器．所以這種自帶衍射光柵計量系統的傳感器具有更高的精度。在測量工件表面形貌時．壓電陶瓷驅動器驅動聚焦物鏡進行垂直位移．從而確保在每一個采樣間隔中焦點總是落在工件表面上,同時使得聚焦誤差信號回零。該調制式E+EE+E位移傳感器的分辨率為10nm。以高精度光柵作為測量基準，用PMAC卡控制直驅電機轉速，以FPGA作為主控芯片，同步獲取光柵和被標定傳感器的測量數據，并通過串口發送給上位機，上位機完成數據接收并對測量數據進行誤差分離與修正。設計下位機的硬件和軟件，硬件部分包括：FPGAzui小系統電路、儀用放大電路、二階有源帶通濾波電路、波形轉換電路等；軟件部分包括光柵信號處理模塊和被標定傳感器信號處理模塊。用MFC完成上位機主界面設計，利用MSComm控件設計串口通信程序。針對上位機開發過程中數據處理困難的問題，運用動態鏈接庫的方法實現Matlab與Visual C++6.0混合編程簡化數據處理難度。完成標定實驗，分析該系統的誤差來源，并在總結的基礎上指出進一步改進的方向。

調制式E+E位移傳感器動態測量誤差標定系統
實驗結果表明，設計的動態測量誤差標定系統，能夠有效的提高傳感器動態測量精度且系統穩定可靠。同時只需對FPGA接口程序做少量的修改即可用于不同的角E+E位移傳感器。不論對于科研機構提高開發效率還是對于檢測機構節約測試系統成本，都具有十分重要的理論和現實意義。