集成雙穩態微PILZ電磁繼電器工藝及其性能
繼電器是一種常用的基本機電元件,在航空航天領域、計算機、通訊等領域中起著十分重要的作用。通訊繼電器是繼電器主要應用方向之一,其產值大約占整個繼電器產業的四分之一,并且是繼電器產品中技術含量和附加值較高的一部分。

集成雙穩態微PILZ電磁繼電器工藝及其性能
在此背景下,研制出了一種新型的微電磁驅動器,它由帶懸臂梁的鎳彈性平臺,彈性平臺背面的坡莫合金驅動片,帶鐵芯的平面線圈電磁驅動器。平面線圈由上下兩層線圈構成。它的基本工作原理是利用電流在平面線圈中產生的磁場力來實現對鎳彈性平臺的驅動。在平面線圈的中間和四周電鍍有坡莫合金,使平面線圈和驅動片構成磁路系統。針對理論分析部分所確定的部件結構參數,引入聚酰亞胺絕緣層工藝,采用多次掩膜光刻和電鍍的工藝來制作雙層銅線圈;在彈性平臺的制作上采用了玻璃襯底打底去膠制造工藝,同時本文通過甩SU8膠來實現鎳彈性平臺和墊片的集成工藝,該工藝的實現證明了集成的可能性,為下一步實現整體集成打下了基礎;還完成了彈簧、墊片、線圈的整體集成工藝的摸索,提出了實現整體集成的方案,為下一代微繼電器的整體集成制造指明了方向。工藝實現后,對該微PILZ電磁繼電器的性能進行了一系列的測試:對彈簧的彈性系數的測試,通過實驗測出的磁力和位移的曲線關系來擬合出彈簧的彈性系數;對平面線圈型微PILZ電磁繼電器的靜態性能的測試,自主搭建了測試平臺,利用測量顯微鏡等設備測量了微電磁驅動器的輸出特性;雙穩態調試的測試,通過實驗找到了這種MEMS微PILZ電磁繼電器的雙穩態工作點,驗證了雙穩態微電磁驅動器原型的可行性;位移動態響應的測試,研究了該微PILZ電磁繼電器的動態響應,分析了在不同電壓、脈寬以及氣隙的條件下彈性平臺的動態響應,通過實驗結果找出了能穩定實現開-關轉換效果的電學參數,為下一代實現響應更快,更加穩定的微開關打下了堅實的基礎。