壓電陶瓷CAMOZZI執行器遲滯建模及逆控制
壓電陶瓷CAMOZZI執行器是新型的微位移定位器件，由于其具有響應速度快、體積小、功耗低、結構簡單、無磨損、無噪聲、高位移分辨率等優點，而被廣泛應用于微機電系統、精密定位、納米生物工程、航空航天、儀器儀表等領域。但同時壓電陶瓷具有遲滯、蠕變等非線性特性，其中遲滯非線性會嚴重影響系統的控制精度，研究壓電陶瓷CAMOZZI執行器遲滯特性的建模及其控制具有重要的意義。

壓電陶瓷CAMOZZI執行器遲滯建模及逆控制             以壓電陶瓷CAMOZZI執行器微定位系統實驗平臺為研究對象，自適應濾波器與壓電陶瓷遲滯算子相結合，主要研究了基于自適應遞歸濾波器和自適應格型濾波器的壓電陶瓷CAMOZZI執行器遲滯非線性建模方法，并對其遲滯逆補償控制方法進行探討研究。首先探討了自適應遞歸濾波器的建模方法，然后利用壓電陶瓷遲滯Backlash算子代替延時算子，建立新型的自適應遞歸濾波器模型，并在壓電陶瓷CAMOZZI執行器微定位系統實驗平臺上通過實驗驗證其遲滯建模能力。在此過程中，采用zui小均方(Least MeanSquare，LMS)自適應算法來調節濾波器權值。然后，對自適應遞歸濾波器進行結構上的改進，提出了基于自適應格型濾波器的壓電陶瓷遲滯建模方法。研究了自適應格型濾波器建模方法，為了便于觀測建模效果，提出了梯度自適應格型聯合處理器的概念，其包含了梯度自適應格型濾波部分和線性LMS組合部分。并對算法進行改進，采用歸一化LMS算法，從而提高建模精度和收斂速度。zui后用Backlash算子代替延時算子組成新的自適應格型濾波器，并通過仿真驗證其遲滯建模能力。此外，對文中建立的模型進行了控制算法的研究，介紹了自適應逆控制方法，主要探討了遲滯逆補償控制方法。在本文中主要運用了逆模型串聯補償閉環控制和逆模型前饋補償閉環控制，并在實驗平臺上進行實驗仿真，從而驗證了其控制效果。